کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4993376 1458023 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Measurement of fluid thermal conductivity using a micro-beam MEMS sensor
ترجمه فارسی عنوان
اندازه گیری ضریب هدایت حرارتی سیال با استفاده از یک سنسور MEMS میکرو پرتو
کلمات کلیدی
رسانایی گرمایی؛ سنسور MEMS؛ اندازه گیری حالت پایدار
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی جریان سیال و فرایندهای انتقال
چکیده انگلیسی
A new method for measuring thermal conductivities of gases and liquids was established by demonstrating the measurement of five kinds of liquid and air. It uses a sensor named “micro-beam sensor” that is a ∼10-μm-long free-standing platinum membrane suspended across a trench on a silicon substrate and heated in a sample by DC. This method is unique in that it is a steady-state measurement but free from the effect of natural convection owing to the micrometer size of the sensor. Improving the method for precisely determining the temperature of the sensor and modifying the device from those used in our previous feasibility study, we successfully measured the thermal conductivity ranging from ∼0.03 to ∼0.6 W/(m⋅K) within 4% error.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: International Journal of Heat and Mass Transfer - Volume 117, February 2018, Pages 30-35
نویسندگان
, , , ,