کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5000573 1460761 2016 25 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Removal and characterization of focused-ion-beam-induced damaged layer on single crystal diamond surface and application to multiple depth patterning
ترجمه فارسی عنوان
حذف و مشخص نمودن لایه آسیبدیده شده بر روی سطح الماس تک کریستال و کاربرد آن در الگوی چندین عمق
کلمات کلیدی
الماس کریستال تک، الگوی عمق چندگانه، پرتو یون متمرکز شده، حرارت درمانی، یون گالیم، کاستی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش مقاله
حذف و مشخص نمودن لایه آسیبدیده شده بر روی سطح الماس تک کریستال و کاربرد آن در الگوی چندین عمق
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 70, November 2016, Pages 159-166
نویسندگان
, , , , , ,