کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5000591 1460752 2017 68 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Structural analysis of amorphous carbon films by BEMA theory based on spectroscopic ellipsometry measurement
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Structural analysis of amorphous carbon films by BEMA theory based on spectroscopic ellipsometry measurement
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 79, October 2017, Pages 46-59
نویسندگان
, , , , , , ,