کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5000605 1460752 2017 19 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Implementation of smooth nanocrystalline diamond microstructures by combining reactive ion etching and ion beam etching
ترجمه فارسی عنوان
پیاده سازی میکروساختارهای الماس نانوبولتیک صاف با ترکیب اچ واکنش پذیر و اچ انتشار پرتو یونی
کلمات کلیدی
اکتیو یونی واکنشی اکتیو پرتو یونی، الماس نانوکریستال، زبری سطح،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش مقاله
پیاده سازی میکروساختارهای الماس نانوبولتیک صاف با ترکیب اچ واکنش پذیر و اچ انتشار پرتو یونی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 79, October 2017, Pages 164-172
نویسندگان
, , , ,