کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5351453 1503562 2017 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Microstructure and mechanical properties of stress-tailored piezoelectric AlN thin films for electro-acoustic devices
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Microstructure and mechanical properties of stress-tailored piezoelectric AlN thin films for electro-acoustic devices
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 407, 15 June 2017, Pages 307-314
نویسندگان
, , , , , , , , , ,