کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
539600 | 871260 | 2011 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Micro-patterning of LiPON and lithium iron phosphate material deposited onto silicon nanopillars array for lithium ion solid state 3D micro-battery
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The paper deals with the methodology used to form regular pattern of sputtered thin films LiPON/LiFePO4 material acting respectively as the solid electrolyte and the positive electrode of the lithium ion solid state 3D micro-battery. The micromachining of the silicon periodic nanopillars array (negative electrode of the micro-battery) is also reported. The proposed study clearly demonstrates a breakthrough technology in the field of lithium ion micro-battery as the ecologically friendly LiFePO4 material has never been evaluated as the positive electrode.
Figure optionsDownload as PowerPoint slide
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 88, Issue 10, October 2011, Pages 3172–3177
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 88, Issue 10, October 2011, Pages 3172–3177
نویسندگان
C. Lethien, M. Zegaoui, P. Roussel, P. Tilmant, N. Rolland, P.A. Rolland,