کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
539677 | 871266 | 2011 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
One port contour-mode ZnO piezoelectric MEMS resonator
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper reports on design, fabrication and experimental testing of one port ZnO contour-mode resonant MEMS. The devices are fabricated from silicon wafers using a 4-mask process. The use of contour modes, whose frequencies are set by lithographically defined dimensions, permits the fabrication of multiple filters at arbitrary frequencies on the same chip. The one port ZnO contour mode resonator is compared with the AlN structure.
Figure optionsDownload as PowerPoint slide
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 88, Issue 9, September 2011, Pages 3003–3010
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 88, Issue 9, September 2011, Pages 3003–3010
نویسندگان
Tadeusz Gryba, Julien Carlier, Shengxiang Wang, XingZhong Zhao, Shishang Guo, Jean-Etienne Lefebvre,