کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
539920 | 871280 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of SiO2 microdisk arrays for optics and light trapping experiments
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We present a simple silicon based microfabrication process that produces an array of SiO2 microdisks using UV lithography. High-resolution SEM images of these structures indicate a smooth outer microdisk cavity surface. Photoemission measurements were performed at different spots on the microdisk and compared with measurements inside the cavity. A silicon to oxygen atomic concentration ratio of 1:2 obtained during depth profiling confirms that the entire microdisk is made up of stoichiometric SiO2. In contrast, the inner cavity is mostly silicon with native oxide on top. We discuss the usefulness of SiO2 microdisks in optics for light trapping experiments.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 84, Issue 12, December 2007, Pages 2799–2803
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 84, Issue 12, December 2007, Pages 2799–2803
نویسندگان
L.V. Saraf, M.H. Engelhard, A.S. Lea,