کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
540047 1450398 2007 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Polarized illuminator impact on line edge roughness
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Polarized illuminator impact on line edge roughness
چکیده انگلیسی

A study has been completed to investigate the imaging performance with the industry standard 6% attenuated phase shift mask. Several test structures were used to investigate the effects on line edge roughness (LER) based on the polarization state of the illuminator. The use of a high NA (>1 NA) immersion exposure system was employed to study the imaging characteristics.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 84, Issues 5–8, May–August 2007, Pages 746–749
نویسندگان
, , , , , , , ,