کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
540105 | 1450398 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
3D structural templates for UV-NIL fabricated with gray-scale lithography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Templates with analog relief surface for UV-nanoimprint lithography are expected to imprint 3D optical elements or micro lens array with a single process cycle. An originally developed direct-writing technique is introduced as a dot density modulation, and template is prepared by a single process cycle with gray-scale lithography, instead of the conventional multi-step template fabrication process with height level segmentation. Fabrication of templates for a micro lens array with smooth 3D structure is demonstrated and actual nanoimprint performance is confirmed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 84, Issues 5–8, May–August 2007, Pages 999–1002
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 84, Issues 5–8, May–August 2007, Pages 999–1002
نویسندگان
Masaaki Kurihara, Makoto Abe, Katsutoshi Suzuki, Kouji Yoshida, Takeya Shimomura, Morihisa Hoga, Hiroshi Mohri, Naoya Hayashi,