کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
540654 | 871333 | 2008 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Integration of high-performance RF passive modules (MIM capacitors and inductors) in advanced BEOL
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Integration of high-performance RF passive modules (MIM capacitors and inductors) in advanced BEOL Integration of high-performance RF passive modules (MIM capacitors and inductors) in advanced BEOL](/preview/png/540654.png)
چکیده انگلیسی
Passive components are key elements for the integration of system-on-chips, fixing circuit performance and down-scaling capability. The integration of MIM capacitors and inductors among Cu BEOL of CMOS technologies faces many challenges and requires technological innovations in the field of material, process, and architecture developments. An overview of the main challenges and investigated solutions is presented in this paper.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 85, Issue 10, October 2008, Pages 1940–1946
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 85, Issue 10, October 2008, Pages 1940–1946
نویسندگان
A. Farcy, J.-F. Carpentier, M. Thomas, J. Torres, P. Ancey,