کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
540900 1450400 2006 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Flying phase mask for the printing of long submicron-period stitchingless gratings
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Flying phase mask for the printing of long submicron-period stitchingless gratings
چکیده انگلیسی

Long and stitchingless gratings are printed by means of a read/write head comprising a phase mask illuminated by an intensity modulated laser beam and a reference grating displacement sensor which dictates the modulation period real time. A nearly perfect grating copying is achieved by fixing the sensor grating scale and the written grating substrate on a long platform sliding under the read/write head.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 734–737
نویسندگان
, , , , , , , ,