کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
540900 | 1450400 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Flying phase mask for the printing of long submicron-period stitchingless gratings
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Long and stitchingless gratings are printed by means of a read/write head comprising a phase mask illuminated by an intensity modulated laser beam and a reference grating displacement sensor which dictates the modulation period real time. A nearly perfect grating copying is achieved by fixing the sensor grating scale and the written grating substrate on a long platform sliding under the read/write head.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 734–737
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 734–737
نویسندگان
E. Gamet, Y. Jourlin, S. Pelissier, R. Min, S. Reynaud, C. Veillas, J.-C. Pommier, O. Parriaux,