| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن | 
|---|---|---|---|---|
| 540900 | 1450400 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان | 
عنوان انگلیسی مقاله ISI
												Flying phase mask for the printing of long submicron-period stitchingless gratings
												
											دانلود مقاله + سفارش ترجمه
													دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
																																												کلمات کلیدی
												
											موضوعات مرتبط
												
													مهندسی و علوم پایه
													مهندسی کامپیوتر
													سخت افزارها و معماری
												
											پیش نمایش صفحه اول مقاله
												 
												چکیده انگلیسی
												Long and stitchingless gratings are printed by means of a read/write head comprising a phase mask illuminated by an intensity modulated laser beam and a reference grating displacement sensor which dictates the modulation period real time. A nearly perfect grating copying is achieved by fixing the sensor grating scale and the written grating substrate on a long platform sliding under the read/write head.
ناشر
												Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 734–737
											Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 734–737
نویسندگان
												E. Gamet, Y. Jourlin, S. Pelissier, R. Min, S. Reynaud, C. Veillas, J.-C. Pommier, O. Parriaux,