کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
540904 1450400 2006 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nanoscale imaging with a portable field emission scanning electron microscope
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Nanoscale imaging with a portable field emission scanning electron microscope
چکیده انگلیسی

Secondary electron images at low landing energies (below 50 eV) are presented by a portable field emission scanning electron microscope. The results show that nanoscale images of resolution better than 20 nm can be obtained on a nylon-fibre specimen at landing energies as low as 1 eV. Preliminary simulation results predict that the image resolution should be much higher.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 762–766
نویسندگان
, , ,