کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
540952 1450400 2006 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low energy electron beam microcolumn lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Low energy electron beam microcolumn lithography
چکیده انگلیسی

A compact sized low energy microcolumn system has been developed for mask-less lithography application. The microcolumn has high throughput capabilities as well as high resolution using arrayed microcolumn structures. A number of arrayed microcolumn structures have been studied based on single column modules, monolithic column module, and wafer-scale column module. In this paper, a review of microcolumn studies and recent results of sub-60 nm line patterning in advanced low energy microcolumn operation is presented.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 962–967
نویسندگان
, , , , , , , , , ,