کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
541893 | 1450399 | 2006 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
High frequencies characterization of Cu-MIM capacitors in parallel configuration for advanced integrated circuits
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
New metal insulator metal (MIM) capacitors in parallel configuration have been implemented between upper copper interconnect levels using a damascene architecture. High frequency characterization has been performed on these devices in order to study their electrical performances. A new extraction method has been developed to obtain a lumped electrical equivalent model of MIM capacitors that is frequency dependant. Many designs have been used. Thanks to the high frequency characterization, a quality factor Q has been established.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 11–12, November–December 2006, Pages 2341–2345
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 11–12, November–December 2006, Pages 2341–2345
نویسندگان
J. Piquet, C. Bermond, M. Thomas, B. Fléchet, A. Farcy, T.T. Vo, T. Lacrevaz, J. Torres, O. Cueto, G. Angénieux,