کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
543765 | 1450396 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Crystalline silicon cantilevers for piezoresistive detection of biomolecular forces
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In order to obtain a sensor with force resolution better than 100 pN for biomolecular detection, U-shaped piezoresistive cantilevers made of crystalline silicon have been fabricated. The resistors have been defined by ionic implantation of As+, yielding a shallow and thin resistor and they have been patterned parallel to the (1 0 0) crystallographic direction, attaining a maximum for the piezoresistive factor. The sensitivity of the devices is characterized together as the force resolution, being both of them 60 μV/pN and 65 pN, respectively, for a cantilever with a length of 250 μm, a width of 8 μm and a thickness of 340 nm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 85, Issues 5–6, May–June 2008, Pages 1120–1123
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 85, Issues 5–6, May–June 2008, Pages 1120–1123
نویسندگان
G. Villanueva, J.A. Plaza, J. Montserrat, F. Perez-Murano, J. Bausells,