کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
543870 | 871689 | 2008 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Integrated microfluidic–microoptical systems fabricated by dry etching of soda-lime glass
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In the paper, the method of fabrication of monolithically integrated microfluidic–microoptics systems is presented. Soda-lime glass is used as a substrate material, in which the waveguiding optics is fabricated by means of an ion exchange process, whereas the microfluidic channel is manufactured using reactive ion etching technique. Basic optical characteristics of the device are also reported.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 85, Issue 2, February 2008, Pages 465–469
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 85, Issue 2, February 2008, Pages 465–469
نویسندگان
Julien Vieillard, Radoslaw Mazurczyk, Lynda-Lawrence Boum, Aude Bouchard, Yann Chevolot, Pierre Cremillieu, Benjamin Hannes, Stanislas Krawczyk,