کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6492850 1417587 2018 36 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Photo-electron chemistry of photoresist outgassing upon DUV, VUV, EUV, and BEUV irradiation
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی بیو مهندسی (مهندسی زیستی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Photo-electron chemistry of photoresist outgassing upon DUV, VUV, EUV, and BEUV irradiation
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry - Volume 353, 15 February 2018, Pages 306-315
نویسندگان
, , ,