کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6492850 | 1417587 | 2018 | 36 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Photo-electron chemistry of photoresist outgassing upon DUV, VUV, EUV, and BEUV irradiation
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
بیو مهندسی (مهندسی زیستی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry - Volume 353, 15 February 2018, Pages 306-315
Journal: Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry - Volume 353, 15 February 2018, Pages 306-315
نویسندگان
Grace Hsiu-Ying Ho, Hung-Miao Lin, Chen-Yu Yeh,