کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
690060 | 889676 | 2008 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Critical dimension and real-time temperature control for warped wafers
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
تکنولوژی و شیمی فرآیندی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Critical dimension and real-time temperature control for warped wafers Critical dimension and real-time temperature control for warped wafers](/preview/png/690060.png)
چکیده انگلیسی
In this paper, we present the experimental results on critical dimension (CD) control via real-time temperature control for warped wafers. As opposed to run-to-run control where information from the previous wafer or batch is used for control of the current wafer or batch, the approach here is real-time and make use of current information for control of the current wafer CD. In this paper we demonstrate that real-time control of the post-exposure bake temperature to give nonuniform temperature distribution across the warped wafer can reduce CD nonuniformity across the wafer.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Process Control - Volume 18, Issue 10, December 2008, Pages 916–921
Journal: Journal of Process Control - Volume 18, Issue 10, December 2008, Pages 916–921
نویسندگان
Weng Khuen Ho, Arthur Tay, Jun Fu, Ming Chen, Yong Feng,