کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6942371 | 1450286 | 2018 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Deep etched and released microstructures in Zerodur in a fluorine-based plasma
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 198, 15 October 2018, Pages 78-84
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 198, 15 October 2018, Pages 78-84
نویسندگان
Christoph Weigel, Stefan Sinzinger, Martin Hoffmann,