کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942371 1450286 2018 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Deep etched and released microstructures in Zerodur in a fluorine-based plasma
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Deep etched and released microstructures in Zerodur in a fluorine-based plasma
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 198, 15 October 2018, Pages 78-84
نویسندگان
, , ,