| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
|---|---|---|---|---|
| 6942406 | 1450288 | 2018 | 14 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Etch process modules development and integration in 3D-SOC applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 196, 5 September 2018, Pages 38-48
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 196, 5 September 2018, Pages 38-48
نویسندگان
Nina Tutunjyan, Stefano Sardo, Joeri De Vos, Stefaan Van Huylenbroeck, Anne Jourdain, Lan Peng, Fumihiro Inoue, Nouredine Rassoul, Gerald Beyer, Eric Beyne, Andy Miller, Daniele Piumi,