کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942499 1450291 2018 28 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Transfer durability and fidelity of hard release-agent-free replica mold by repetition of ultraviolet nanoimprint lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Transfer durability and fidelity of hard release-agent-free replica mold by repetition of ultraviolet nanoimprint lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 193, 5 June 2018, Pages 98-104
نویسندگان
, , ,