دانلود رایگان مقاله ISI : نانوکامپوزیت با لیتوگرافی پروب اسکن لایه برداری و اکتیو پلاسما یونیزاسیون

Nanofabrication by field-emission scanning probe lithography and cryogenic plasma etching

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 192, 15 May 2018, Pages 77-82

Claudia Lenk, Martin Hofmann, Steve Lenk, Marcus Kaestner, Tzvetan Ivanov, Yana Krivoshapkina, Diana Nechepurenko, Burkhard Volland, Mathias Holz, Ahmad Ahmad, Alexander Reum, Chen Wang, Mervyn Jones, Zahid Durrani, Ivo W. Rangelow,