کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942529 1450292 2018 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication and characterization of a hammer-shaped CMOS/BEOL-embedded nanoelectromechanical (NEM) relay
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Fabrication and characterization of a hammer-shaped CMOS/BEOL-embedded nanoelectromechanical (NEM) relay
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 192, 15 May 2018, Pages 44-51
نویسندگان
, , , ,