کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942533 1450292 2018 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of suspended microchannel resonators with integrated piezoelectric transduction
ترجمه فارسی عنوان
تهیه رزوناتورهای میکرو کانال معلق با انتقال پیزوالکتریک یکپارچه
کلمات کلیدی
رزوناتورهای میکرو کانال معلق، کانال های مایکروویید، پیزو الکتریکی، فرکانس رزونانس، عامل کیفیت، سنسورهای میکرومکانیکی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
تهیه رزوناتورهای میکرو کانال معلق با انتقال پیزوالکتریک یکپارچه
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 192, 15 May 2018, Pages 83-87
نویسندگان
, , ,