کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942541 1450292 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Towards sub-micrometer high aspect ratio X-ray gratings by atomic layer deposition of iridium
ترجمه فارسی عنوان
به سوی غرفه های اشعه ایکس با نسبت مساوی زیر میکرومتر توسط لایه ی اتمی لایه ایییدیم
کلمات کلیدی
تداخل سنجی اشعه ایکس بر اساس گریت، اچ سیلیکون یونی واکنش پذیر عمیق، رسوب لایه اتمی ایریدیوم،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
به سوی غرفه های اشعه ایکس با نسبت مساوی زیر میکرومتر توسط لایه ی اتمی لایه ایییدیم
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 192, 15 May 2018, Pages 19-24
نویسندگان
, , , , , ,