کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942567 1450293 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Manufacturing of highly-dispersive, high-efficiency transmission gratings by laser interference lithography and dry etching
ترجمه فارسی عنوان
تولید ترانزیستورهای انتقال بسیار پرقدرت و پراکنده با استفاده از لیتوگرافی تداخل لیزری و اچینگ خشک
کلمات کلیدی
گریتینگ دیفرانسیل، لیتوگرافی تداخل، اکتیو پرتو یونی واکنشی گریتینگ انتقال،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
تولید ترانزیستورهای انتقال بسیار پرقدرت و پراکنده با استفاده از لیتوگرافی تداخل لیزری و اچینگ خشک
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 191, 5 May 2018, Pages 60-65
نویسندگان
, , , , , ,