کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942570 1450293 2018 18 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10 nm X-ray lenses
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10 nm X-ray lenses
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 191, 5 May 2018, Pages 91-96
نویسندگان
, , , , , , , , , , , , , , ,