کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942715 1450317 2016 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Influence of discrete drop locations on film thickness uniformity in UV- nanoimprint lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Influence of discrete drop locations on film thickness uniformity in UV- nanoimprint lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 164, 1 October 2016, Pages 139-144
نویسندگان
, ,