کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942724 1450318 2016 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Aged hydrogen silsesquioxane for sub-10 nm line patterns
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Aged hydrogen silsesquioxane for sub-10 nm line patterns
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 163, 1 September 2016, Pages 105-109
نویسندگان
, , , , ,