دانلود رایگان مقاله ISI : تهیه حفره های هرمی منفرد با باز شدن نانو با لیتوگرافی تداخل لیزری و اچ مرطوب

Fabrication of inverted pyramidal pits with Nano-opening by laser interference lithography and wet etching

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 163, 1 September 2016, Pages 110-114

Baogang Quan, Zehan Yao, Weijie Sun, Zhe Liu, Xiaoxiang Xia, Changzhi Gu, Junjie Li,