دانلود رایگان مقاله ISI : شکل گیری میکرو و نانوساختارها با مشخصات جامد شده با الگوی جدید لیتوگرافی پرتو الکترونی

Formation of micro- and nanostructures with well-rounded profile by new e-beam lithography principle

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 155, 2 April 2016, Pages 92-96

M.A. Bruk, E.N. Zhikharev, A.E. Rogozhin, D.R. Streltsov, V.A. Kalnov, S.N. Averkin, A.V. Spirin,