کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942818 1450326 2016 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Cut-hole layout decomposition and synthesis to reduce the effect of edge-placement errors
ترجمه فارسی عنوان
تجزیه و تقسیم بندی مقطع چاله ای برای کاهش تاثیر خطاهای لبه
کلمات کلیدی
اشتباهات لبه گذاری اکتیو انتخابی الگوبرداری چندگانه خود را تنظیم می کند، تجزیه و تحلیل طرح و سنتز،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
تجزیه و تقسیم بندی مقطع چاله ای برای کاهش تاثیر خطاهای لبه
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 155, 2 April 2016, Pages 107-113
نویسندگان
, , ,