کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942830 1450327 2016 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Thermo-mechanical transduction suitable for high-speed scanning probe imaging and lithography
ترجمه فارسی عنوان
انتقال ترمو مکانیکی مناسب برای تصویربرداری و لیتوگرافی پروب اسکن با سرعت بالا
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
انتقال ترمو مکانیکی مناسب برای تصویربرداری و لیتوگرافی پروب اسکن با سرعت بالا
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 154, 25 March 2016, Pages 1-7
نویسندگان
, , , , , ,