کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942863 1450327 2016 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design and fabrication of MEMS based electrostatic cantilever as ultrasonic signal generator
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Design and fabrication of MEMS based electrostatic cantilever as ultrasonic signal generator
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 154, 25 March 2016, Pages 74-79
نویسندگان
, , , ,