کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942927 1450328 2016 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of narrow-gap nanostructures using electron-beam induced deposition etch masks
ترجمه فارسی عنوان
ساخت نانوساختارهای باریک ضخیم با استفاده از اشعه ماوراء بنفش رسوب القایی
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
ساخت نانوساختارهای باریک ضخیم با استفاده از اشعه ماوراء بنفش رسوب القایی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 153, 5 March 2016, Pages 77-82
نویسندگان
, , , , ,