کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943270 1450337 2015 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Highly uniform sieving structure by corner lithography and silicon wet etching
ترجمه فارسی عنوان
ساختار بسیار سنگین یکپارچه توسط لیتوگرافی گوشه ای و اچینگ مرطوب سیلیکون
کلمات کلیدی
اچینگ مرطوب یکنواخت، ساختارهای مقدس، شمع سیلیکون، لیتوگرافی گوشه
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
ساختار بسیار سنگین یکپارچه توسط لیتوگرافی گوشه ای و اچینگ مرطوب سیلیکون
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 144, 16 August 2015, Pages 12-18
نویسندگان
, , , ,