دانلود رایگان مقاله ISI : سه بعدی نانومترلوژی میکروسیستمهای با استفاده از قالب سازی ماکسیما و میکروسکوپ نیروی اتمی بزرگ

Three-dimensional nanometrology of microstructures by replica molding and large-range atomic force microscopy

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 6-11

Frederik Stöhr, Jonas Michael-Lindhard, Hugh Simons, Henning Friis Poulsen, Jörg Hübner, Ole Hansen, Joergen Garnaes, Flemming Jensen,