کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943311 1450340 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Sub-100 μs nanoimprint lithography at wafer scale
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Sub-100 μs nanoimprint lithography at wafer scale
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 21-26
نویسندگان
, , , , ,