کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943329 1450340 2015 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication and characterization of the functional parylene-C film with micro/nano hierarchical structures
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Fabrication and characterization of the functional parylene-C film with micro/nano hierarchical structures
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 72-80
نویسندگان
, , , , , ,