کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943332 1450340 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Lifetime amelioration of antireflection structure molds by means of partial-filling ultraviolet nanoimprint lithography
ترجمه فارسی عنوان
بهبود طول عمر قالب های ساختار ضد انفجار با استفاده از لیتوگرافی نانویمترنت ماورای بنفش
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
بهبود طول عمر قالب های ساختار ضد انفجار با استفاده از لیتوگرافی نانویمترنت ماورای بنفش
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 81-86
نویسندگان
, , , ,