کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943344 1450340 2015 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Removal of residual layer by liquid transfer imprint lithography using roll-to-roll UV-NIL
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Removal of residual layer by liquid transfer imprint lithography using roll-to-roll UV-NIL
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 112-116
نویسندگان
, ,