کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943377 1450340 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Corner rounding of sharp silicon punching tool edges by local oxidation of silicon
ترجمه فارسی عنوان
گرد کردن گوشه ای از چسب ابزار سیلیکون مشت زدن ابزار توسط اکسیداسیون محلی از سیلیکون
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
گرد کردن گوشه ای از چسب ابزار سیلیکون مشت زدن ابزار توسط اکسیداسیون محلی از سیلیکون
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 178-183
نویسندگان
, ,