کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943417 1450340 2015 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Micro and nanofabrication of SiGe/Ge bridges and membranes by wet-anisotropic etching
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Micro and nanofabrication of SiGe/Ge bridges and membranes by wet-anisotropic etching
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 256-260
نویسندگان
, , , , , ,