کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6943470 | 1450341 | 2015 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Polymer filling behaviors and imprinting velocities with pressure variation rates in nanoimprint lithography
ترجمه فارسی عنوان
رفتار پر شدن پلیمر و سرعت نوشتن با تغییرات فشار در لیتوگرافی نانویمترنت
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 140, 1 June 2015, Pages 67-71
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 140, 1 June 2015, Pages 67-71
نویسندگان
JiHyeong Ryu, HyungJun Lim, Sang-Ho Lee, JaeJong Lee,