کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943470 1450341 2015 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Polymer filling behaviors and imprinting velocities with pressure variation rates in nanoimprint lithography
ترجمه فارسی عنوان
رفتار پر شدن پلیمر و سرعت نوشتن با تغییرات فشار در لیتوگرافی نانویمترنت
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
رفتار پر شدن پلیمر و سرعت نوشتن با تغییرات فشار در لیتوگرافی نانویمترنت
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 140, 1 June 2015, Pages 67-71
نویسندگان
, , , ,