کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943502 1450344 2015 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Measuring electro-mechanical properties of thin films on polymer substrates
ترجمه فارسی عنوان
اندازه گیری خواص الکترومکانیکی فیلم های نازک بر روی بستر های پلیمری
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
چکیده انگلیسی

- Electromechanical properties of metal films are studied with in-situ AFM-4PP tensile straining.
- AFM characterizes the surface damage and 4PP measures the resistance under tensile strain.
- The difference between local film necking and through thickness cracks can be made.
- It will be shown when the strain is removed, cracks bridge and the resistance decreases.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 137, 2 April 2015, Pages 96-100
نویسندگان
, , , , ,