دانلود رایگان مقاله ISI : مواد تماس سازنده پشتی از خط برای اتصالات متصل به نانولوله های کربنی

Back-end-of-line compatible contact materials for carbon nanotube based interconnects

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 137, 2 April 2015, Pages 130-134

Holger Fiedler, Marius Toader, Sascha Hermann, Michael Rennau, Raul D. Rodriguez, Evgeniya Sheremet, Michael Hietschold, Dietrich R.T. Zahn, Stefan E. Schulz, Thomas Gessner,