کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943546 1450346 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigation of the TiN/photoresist interface degradation during a wet etch
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Investigation of the TiN/photoresist interface degradation during a wet etch
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 135, 5 March 2015, Pages 7-12
نویسندگان
, , , , , ,