کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943593 1450349 2015 15 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
High-resolution proximity lithography for nano-optical components
ترجمه فارسی عنوان
لیتوگرافی مجاورت با وضوح بالا برای اجزای نانو نوری
کلمات کلیدی
لیتوگرافی نوری، قرار گرفتن در معرض نزدیکی، تکنیک های ارتقاء رزولوشن، ترازو ماسک نانو اپتیک، ساختارهای دوره ای،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
لیتوگرافی مجاورت با وضوح بالا برای اجزای نانو نوری
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 132, 25 January 2015, Pages 120-134
نویسندگان
, , , ,