کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6943593 | 1450349 | 2015 | 15 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
High-resolution proximity lithography for nano-optical components
ترجمه فارسی عنوان
لیتوگرافی مجاورت با وضوح بالا برای اجزای نانو نوری
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
لیتوگرافی نوری، قرار گرفتن در معرض نزدیکی، تکنیک های ارتقاء رزولوشن، ترازو ماسک نانو اپتیک، ساختارهای دوره ای،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 132, 25 January 2015, Pages 120-134
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 132, 25 January 2015, Pages 120-134
نویسندگان
Lorenz Stuerzebecher, Frank Fuchs, Uwe D. Zeitner, Andreas Tuennermann,