| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
|---|---|---|---|---|
| 6943660 | 1450364 | 2014 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Amorphous fluoropolymer protective coatings for front-side MEMS releasing by hydrofluoric acid vapor etching
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The amorphous fluoropolymer protective coatings for MEMS front-side releasing with hydrofluoric acid (HF) vapor.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 117, 1 April 2014, Pages 18-25
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 117, 1 April 2014, Pages 18-25
نویسندگان
Lan Zhang, Jian Lu, Hideki Takagi, Ryutaro Maeda,